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반도체 공정 변화에 따른 수혜 가능 영역(GAA, HIGH-K, EUV, 3D NAND등)

삼성전자 파운드리 밸류체인 업체로는 솔브레인, 동진쎄미켐, 두산테스나, 리노공업, 에스앤에스텍, 디엔에프가 있으며 삼성전자 파운드리 사업부 회복세가 예상됨에 따라 해당 업체들의 수혜가 기대된다. 투자 포인트는 아래와 같다.


1) 솔브레인: 화학 소재 업체로 삼성전자 내 식각액 점유율이 압도적으로 높으며 GAAFET 용 식각액은 단독 납품 중. 2024 년부터 팹리스 업체들이 GAAFET 을 채택하면서 본격적인 성장 보여줄 전망

2) 동진쎄미켐: 일본 업체들이 독과점하고 있던 PR(Photo Resist)를 국산화해 삼성전자에 납품 중. 최근 EUV 용 PR 도 개발 성공해 매출 발생 중. 일본 업체들의 M/S 를 빼앗으며 구조적으로 성장할 전망

3) 두산테스나: 삼성전자 비중이 높은 OSAT 업체로 최근 고성장세를 보이고 있는 차량용 반도체 비중 증가 중. 또한 퀄컴과 엔비디아 수주에 성공할 경우 갤럭시 S24 에 탑재될 엑시노스의 테스트 외주 비중을 늘릴 가능성이 크다고 판단

4) 티이엠씨: 2022 년 일본과 미국이 독과점하고 있던 특수가스 국산화에 성공하며 2024 년부터 본격적인 성장세 보여줄 예정. 또한 동사가 준비하고 있는 가스 리사이클 사업을 통해 국내에서 원활하게 원재료 수급이 가능해진다면 밸류에이션 리레이팅 가능

5) 가온칩스: 성장 포텐셜이 큰 AI 와 자율주행 비중이 전사 매출의 73%를 차지. 주요 팹리스 업체들이 삼성전자 파운드리를 채택할 가능성이 높다고 판단되는 바 가온칩스의 수혜 예상됨





반도체 공정 변화에 따른 수혜 가능 영역(GAA, HIGH-K, EUV, 3D NAND등)
[하이투자증권 박상욱] 삼성 파운드리戰(feat 삼성전자. TSMC. 인텔) [2023.07.11]






파운드리 3사 로드맵
[하이투자증권 박상욱] 삼성 파운드리戰(feat 삼성전자. TSMC. 인텔) [2023.07.11]




NVIDIA가 메모리 반도체 수요에 얼마나 기여할까?
[현대차증권 노근창] NVIDIA가 메모리 반도체 수요에 얼마나 기여할까? [2023.05.31]




반도체 : 기다리는 조정은 오지 않는다.
[KB증권 김동원] 반도체 : 기다리는 조정은 오지 않는다. [2023.05.30]






AI 관련 명확한 방향성(엔비디아 실적 발표 이후)
[신한투자증권 고영민,신현재] 반도체 : 마지막 이정표는 2분기 ASP [2023.05.30]






23년 하반기 반도체 전망
[하이투자증권 송명섭] 23년 하반기 반도체 전망 [2023.05.26]

반도체 : 후공정도 DDR5

DDR5 가격 프리미엄 축소: DDR4와의 차이는 4월 기준, 2% 


DDR5의 침투율 상승이 예상된다. 가격 프리미엄이 크게 축소됐다. 21년 연말 291% 였던 프리미엄은 현재 DDR4 대비 17% 수준이다. 지난 4월에는 2%에 불과했다. 가격 하락에 따른 수요 증가가 예상된다. DDR5의 예상보다 빠른 가격 정상화는 수요 증가로 이어진다. 2023년의 전체 PC 판매량은 감소해도 DDR5 판매는 늘 것이다. 가격 하락은 DDR5 시장 개화를 앞당길 요인이다.

관련 기업들의 부품공급 동향도 감지된다. 제품 공급 일정이 확정되고, 전방 수요 부진에도 DDR5 주문은 늘어난다. 지난 2년간 DDR5의 모멘텀은 인텔과 AMD CPU 출시였다. 이제부터는 침투율 상승과 출하량 성장률을 주목해야 한다.



수동부품


DDR4 메모리 모듈 대비 DDR5 메모리 모듈의 가장 큰 차이는 PMIC의 탑재이다. 전력 관리가 모듈 안에서 이루어진다. 기존 메모리 모듈의 경우 저항기만 60-80여여 개 탑재되었으나 DDR5에서는 MLCC와 인덕터가 새롭게 탑재되는 구조이다. DDR3에서 DDR4 전환 당시 저항기가 대표 수혜 부품이었다. 당시 탑재량과 ASP는 각각 +30%, +200% 증가하였다. 


이번 DDR5 사이클에서의 핵심은 인덕터이다. 모듈당 3-4개가 탑재되지만 판가의 경우 저항기 대비 상당히 높은 부품이다. DDR5 사이클에서의 모듈당 판가는 DDR4 수준을 훨씬 뛰어넘는다. 전환율이 50%가 되는 해까지 관련 업체의 가파른 실적 성장이 예상된다. 





반도체 : 후공정도 DDR5
[SK증권 한동희] 반도체 : 후공정도 DDR5 [2023.05.19]

반도체의 다양한 종류

긴밀하게 연결되어 있는 반도체 전 후방 산업


전방산업은 크게 스마트폰, PC, 서버가 특히 메모리 반도체의 전방 시장이다.

전방시장중에서도 스마트폰은 가장 많이 반도체를 채용하고 있으며 핸드폰의 두뇌를 담당하는 메모리 및 연산장치(AP), 연산처리를 사람의 눈으로 볼 수 있는 디스플레이 드라이브 IC 그리고 무선통신신호를 주고받는 RF 와 모뎀반도체, 카메라 칩, 소리와 영상을 통제하는 멀티미디어 반도체 등 핸드폰 주요 부품의 약 40%로 사용된다.


반도체산업의 후방산업에는 정밀기계, 화학, 세라믹, 식품의료산업 등이 있으며 정밀기계산업,화학산업은 반도체장비산업에 직접적으로 영향을 주기 때문에 매우 중요하다. 특히 Wafer 의 원재료로 사용되는 폴리실리콘의 경우 최근 태양전지 분야에서 수요가 폭증하면서 반도체용 Wafer 를 위한 공급에 차질이 발생하는 등 반도체 생산에 큰 영향을 미치고 있다.







반도체의 다양한 종류
[교보증권 최보영] 불확실성과 위기에 더욱 강해지는 반도체 [2023.05.09]




삼성전자 평택 3공장, NAND 가동 본격화 및 장비 투자 재개 예상
[키움증권 박유악] 반도체 스팟노트 [2023.04.12]

반도체 공급전략이 중요한 시점

삼성전자의 Pivot 에 대한 당위성에 대한 근거


① 4Q22 DRAM 점유율 45%로 2019 년 이후 분기 최대치 달성

② 후발 주자들의 감산과 대규모 Capex cut 으로 점유율 하락 위험 제한적

③ 메모리 적자 사이클 진입에 따른 연결 영업적자에 대한 위험

④ 역대급 재고와 더불어 후발주자 대비 높은 재고를 보유하기 시작

⑤ 점유율 확대 전략 유지에도 업계 재편 가시성은 제한적


※ 삼성전자는 1Q23 부터 메모리 영업적자를 기록하기 시작하면서 연중 내내 메모리 사업은 영업적자를 지속할 것으로 전망된다는 점에서 점유율 확보 전략 유지에 대한 당위성은 과거 대비 낮을 수 밖에 없다

※ SK 하이닉스, 마이크론 대비 늦은 감산 결정과 예상을 하회하는 수요 상황은 삼성전자의 DRAM 재고를 경쟁사대비 높게 만들 것이다. 경쟁사들은 선제적 감산으로 2Q22 부터 재고주수의 하락이 예상되며, 삼성전자의 경우 3Q22 부터 재고주수가 하락 할 것이다.

※ 재고가 낮은 업체가 다가올 Restocking 사이클에서 상대적으로 유리할 것이라 판단한다.


- 당사는 1Q23 말 기준 삼성전자, SK 하이닉스의 DRAM 재고는 10 주 후반에 이르기 시작할 것으로 전망한다

- 통상 업계의 적정재고 수준이 3~5 주라는 점을 감안하면, 유래없이 높은 재고이다.

- 완제품 재고가 매우 높은 상황에서 전공정을 거치고 있는 웨이퍼를 즉각적으로 완제품화시킬 유인이 없다는 점에서 재공재고도 역대급 수준일 수 밖에 없다.


- 당사의 생산과 출하 변화율에 따른 DRAM 재고 시나리오에 따르면 연말까지 DRAM 재고가 10 주 이내로 하락하기 위해서는 9% 이상의 생산 감소와 9%이상의 수요 성장이 동시에 진행되어야 한다

- 2023 년 삼성전자의 생산 Flat 과 SK 하이닉스의 생산 -5% 수준의 생산 계획이 그대로 유지될 경우, DRAM재고는 연말까지 10주를 상회할 가능성이 매우 높아진다.

- 현재 시나리오라면, 2023년 DRAM가격 반등은 사실상 어렵다는 결론으로 귀결된다


긍정적 신호들 


- 최근 TSMC 등 비메모리 업체들의 실적 흐름이 바닥을 잡는 모습이다. 추세성은 지속 확인이 필요하지만, 긍정적인 현상이라 판단한다

- TSMC 실적의 핵심 변수는 ‘가격’이 아닌 ‘출하량’이라는 점에서, 고객사의 주문량이 회복되면 메모리보다 더 먼저 실적이 개선된다.

- TSMC 의 분기 기준 가동률은 3Q23부터 개선될 것으로 기대되며, 12M Fwd. EPS 컨센서스는 그 전에 상승이 가능할 것으로 판단한다.

- 현재 메모리 업황 관점에서 ‘가격’ 상승보다 ‘출하량 증가에 따른 재고 소진’이 선행되어야 한다는 점에서 TSMC 의 실적 컨센서스 반등은 긍정적 시그널이다


- DRAM 보다 빠르게 업황이 악화된 NAND 는 삼성전자를 제외한 대부분의 업체들이 현금원가에 근접하기 시작했다.

- 메모리의 전방은 동일하다는 점에서 현금원가에 근접하고 있는 NAND 가격 하락에 따른 수요의 탄력성이 소폭이나마 발현되고 있다

- DRAM 역시 1Q23 부터 삼성전자를 포함한 주요 3 사가 모두 영업적자 구간에 진입하기 시작해 현금원가와의 격차가 20~30% 수준까지 좁혀지기 시작할 것으로 판단되는데, 해당 수준은 2012 년을 마지막으로 한 번도 도달한 적이 없다

- 결국 DRAM 역시 2Q23 내 수요의 가격 탄력성이 나타나기 시작하며, 출하량의 반등 및 수출 금액의 낙폭 축소가 시작 될 것으로 전망한다.


- 2023년 하반기 및 2024 년 공급 증가에 관련이 깊은 2023년 DRAM Capex 는 2022 년 대비 큰 폭으로 감소할 것으로 전망된다

- 마이크론과 SK하이닉스는 2022 년 대비 50% 수준의 Capex cut 계획과 더불어 공급 증가에 영향을 미치는 설비투자의 경우 그 이상 감축하겠다고 발표했다. 삼성전자 역시 DRAM Capex 규모는 2022 년과 유사하지만, 설비투자 비중은 하락 할 것이라 언급했다

- 2024 년 공급 증가에 대한 우려만큼은 과거 대비 낮은 상태에서 수요 회복을 기다리게 될 것이라는 것을 의미한다.

- 장기 성장을 위한 Capex 외의 단순 생산 증가를 통한 점유율 확대 목적의 Capex 유지는 추가 가격 하락의 여지를 제공할 것이라는 점에서 Capex 는 과거 대비 더 보수적 관점에서 검토 될 가능성이 높다고 전망한다





반도체 공급전략이 중요한 시점
[SK증권 한동희,최도연] 반도체 : Pivot의 시간 [2023.03.30]

과잉 재고의 영향은 이번보다 다음 Up Cycle 에서 더욱 부각

반도체의 생각보다 빠른, 강한 반등 예상 근거 


1) 이미 훼손된 제조업 PMI 


현 시점에서 추가적인 하방은 크지 않으며 이전대비 50pt 아래에서 오랜 기간 눌려있는 양상이 진행되고 있는 만큼 반등 폭발력 역시 클 수 있다. 주가 저점은 지속 우상향 추이를 보일 가능성이 높다. 단순 계산이기는 하지만 과거 ISM 제조업 지수가 50pt를 하회하고 Up-Cycle 진입까지의 기간이 가장 길었던 245일(15~16 Cycle)을 이번 Cycle에 동일하게 적용시, 반등 예상 시점은 23년 6월로 계산된다. 현 시점에서 당사가 예상하는 3Q23~4Q23의 반등 전망은 크게 무리한 가정은 아닐 수 있다


2) IT 세트, 추세선 이탈도 완화 & 정상화 근접 중 


코로나19 이후 PC, 모바일, 서버 등의 수요는 각 세트별 최근 3~5개년 성장률 추세를 크게 이탈했다. 이후 고통스런 수요 둔화 여파를 겪고 있으나 긍정적인점은 추세 이탈도가 크게 완화됐다는 점이다. 세트별로 약간의 차이는 있으나 기존 추세에 근접해 가고 있다. 매크로 바닥보다 앞선 반등, 그리고 향후 매크로바닥 확인 국면에서 예상보다 강한 반도체 반등이 가능할 수 있는 기반이다.


3) 하반기, 생산업체들의 공급 축소 효과 발생하기 시작하는 시점 


생산업체들의 공급 축소 효과는 1Q23부터 발생하기 시작했다. 2H23, 1H24로 갈수록 관련 효과는 점진적으로 확대될 예정이다. 매크로 바닥의 지연이 있더라도 공급 축소 효과를 감안할 때 반도체 업황의 급격한 악화는 가능성이 낮다.







과잉 재고의 영향은 이번보다 다음 Up Cycle 에서 더욱 부각
[신한투자증권 고영민,신현재] 반도체 : 추가 감산의 추억 [2023.03.29]

EUV : 나노 공정의 핵심이 열리다

EUV, 나노 공정의 핵심이 열리다 


차세대 반도체 공정의 핵심은 EUV 기반 초미세 패터닝의 현실화이며, 이를 위해 EUV 관련 소재 및 부품의 확보, 공정 수율 개선 및 후공정 비용 절감이 반드시 필요하다. 10nm 이하의 초미세 패터닝 영역은 EUV 노광 공정으로 넘어가기 시작했는데, 물리적으로는 5nm 이상의 패터닝은 EUV가 없어도 가능하다. 하지만 기존 DUV를 이용한 다중 패터닝 공정은 5nm 이하 공정에서 이론상으로 적용하기 어렵다. DUV 다중 패터닝 공정을 5nm 공정으로 구현하려면 마스크 배치가 100번 넘게 반복되어야 한다. 이렇게 많은 마스킹이 요구되는 공정은 원가와 수율 문제에서 자유로울 수 없으며 공정상 오류가 높아질 수 밖에 없어 검사시에도 시간과 비용이 증가하게 된다. 다양한 종류의 고성능 반도체를 만들기 위해서는 더 높은 집적도와 정밀도가 필요한데 EUV를 사용하게 되면 13.7nm 광원을 사용하므로 단일 패터닝 공정 대비 물리적으로 훨씬 작은 크기를 만들어낼 수 있기 때문에, 마스크 공정도 더 줄어들고 제조비용도 감소하게 된다.


​TSMC는 ASML의 EUV 장비를 100대 넘게 보유하고 있으며 전세계 EUV 장비의 70% 이상을 확보하고 있어 파운드리 내에서 독보적인 위치를 확보하고 있다. 현재 TSMC 3nm 공정에서 양산한 웨이퍼는 약 20,000달러로, 5nm 공정을 이용한 웨이퍼 가격보다 약 4,000달러 이상 비싸다.


삼 성전자는 단순히 비용 절감뿐만 아니라, 40nm이하의 Non-EUV DRAM이 기술측면에서 매우 복잡해지고 있으며, 사이클 타임 또한 길어지고 있다는 점에서 EUV 도입의지를 표명한 바 있다. 또한 5nm 이하의 DRAM 기술에서 EUV를 채택하게 되면 bit density가 최대 3배 증가할 수 있다. 삼성전자는 14nm DRAM에서 EUV 레이어 5개를 채택하고 있으며, 자율주행차를 타깃으로한 MCU, 차량 제어용 AP, XR/AR 전용 반도체 등은 성장 잠재력이 크지만 아직 TSMC가 주목하지 않는 시장이므로, 이런 시장을 선진입해서 고객과의 관계를 구축할 경우 삼성전자의 파운드리 경쟁력도 높아질 것이다.


인텔 역시 애리조나에 2개의 EUV 팹을 200억달러 (약 25조원)을 들여 투자할 계획이며, 미국 오하이오주와 오레건주, 유럽에 추가적인 팹 건설을 발표하였다. 인텔은 2025년 이후 ASML과 공동개발한 High NA인 0.55 NA급 EUV 장비 확보에 대한 우선권이 있기 때문에 이후 충분한 물량의 EUV 장비를 확보하게 된다면 향후 TSMC와 삼성전자, 인텔의 삼파전으로 이어질 가능성이 매우 높다.



​EUV 공정상 필수적인 요소 - 펠리클, 블랭크 마스크 


EUV는 파운드리, 메모리 등 광범위한 분야에서 적용되며, 특히 EUV 투입량 증가에 따라 웨이퍼와 레티클에서 추가적인 검사 장비가 요구되고 있고, 패터닝 공정상 EUV PR, EUV 블랭크마스크와 펠리클이 핵심적인 요소이다.


Logic(Foundry)의 경우 7nm에서는 평균적으로 10개 이상의 EUV layer가 요구되며, 5nm에서는 2배 수준인 20개 이상이 필요한 것으로 전망된다. 3nm 공정의 경우 약 25개 정도의 EUV레이어가 필요한 것으로 알려져 있다. DRAM의 경우 1y, 1z 노드에서는 1-2개의 EUV 레이어가 필요하지만 1a에서는 3-5개의 EUV 레이어가 요구된다. 적용 레이어가 증가할수록 관련되어 요구되는 펠리클도 증가하게 된다.


EUV 펠리클의 현재 


EUV 노광 공정은 노광기에서 나오는 빛을 마스크에 반사시켜 웨이퍼에 쪼이고, 웨이퍼 위 PR이 빛에 반응하면서 움푹 패이거나 남아있는 과정을 거쳐 진행된다. 여기서 EUV 대량 양산을 위한 주요 이슈 중 하나가 EUV 노광 공정상 발생하는 오염이다. EUV 펠리클은 얇은 박막을 포토마스크 위에 씌워 대기중 분자와 오염물질로부터 보호하는 필름으로, 패턴 결함을 줄이기 위한 용도로 사용된다. EUV 펠리클을 통한 EUV 광의 이중 투과는 반사마스크에 의해 결정되는데, EUV 펠리클의 투과율이 90%인 경우 노출 선량은 81%로 감소하게 된다. 이것은 20% 생산성이 감소한다는 의미이고, 여기서 발생된 에너지가 펠리클 막에 가해지면서 열적-기계적 특성에 영향을 미친다.


EUV 펠리클 필수 요건 

1) 투과율이 높고 반사율은 0에 수렴

2) 오염이 최소화되고, 온도를 견뎌야

3) 열방사성이 높고,열팽창 계수가 낮아야

4) 화학적으로 잘 견뎌내야 함


초기의 p-Si 기반의 펠리클은 투과도는 충족되었지만, 펠리클 수명과 직접적으로 연관된 기계적, 열적 안정도 측면에서 HVM 수준에 도달하지 못하였다. 250W EUV 광원으로 작동하는 EUV 노광기에서 40nm p-Si 펠리클의 최대 온도는 994℃에 이른다. 이러한 고진공 환경에서는 박막구조 때문에 EUV 펠리클을 노광 중 냉각할 수 있는 방법이 열방사밖에 없다.


따라서 이러한 문제를 해결하기 위해 1) 탄소계 재료를 삽입하여 기계적 특성을 개선하고, 2) 고방사 재료로 캐핑(capping)하여 열적 특성을 높이는 것이 최근의 개발트렌드이다. 메탈 계열의 펠리클을 사용하면 기계적 강도가 높아지면서 높은 투과율을 보여서 가장 빠르게 적용될 수 있을 것으로 기대된다. 그리고 탄소나노튜브(CNT)의 경우 평균 두께는 10nm이하이며, 다공성 구조라 투과율이 높은 특징 때문에 차기 펠리클 후보군으로 진행 중이며, 600W의 95% 투과율을 가질 것으로 예상된다. 향후 CNT를 EUV 펠리클에 적용하기 위해서는 소재의 변수(single or multi, 번들 사이즈, 광학적, 기계적, 열적 특성 등)와 밀도, 형태에 따른 특성을 조정해야 한다.


일률적인 솔루션은 없으며, 1) 생산 리스크와 비용 간의 균형을 맞추거나, 2) 레이어의 특성, 펠리클 투과도, 결함 발생가능성 등의 여부를 검토하여 파티클 오염을 제어할 수 있는지에 따라 두 방법 중 하나를 선택하고 있다. 마스크 일부가 오염되어도 나머지 부분만으로도 충분히 사용할 수 있는 메모리의 경우에는 무리해서 펠리클을 사용할 필요가 없다. 오히려 펠리클을 사용함으로서 감소하는 광량 때문에 생산성이 떨어지는 문제가 있다. 그러나 회로 일부만 오작동해도 전체를 못쓰게 되는 시스템 반도체 분야에서는 펠리클이 더 필요하다. 그럼에도 불구하고 쉽게 양산공정에 적용되지 못하는 이유는 펠리클이 파괴되었을 때 이물질이 묻은 것과는 비교할 수 없을 만큼의 심각한 오염이 발생하여 마스크를 버려야 하기 때문이다.


반도체 칩의 초소형화에 따라 미세선폭도 줄어들게 되고, 공정상 발생되는 Defect를 줄이기 위해 점차적으로 펠리클 사용량은 증가하게 될 것으로 전망된다. 현재는 펠리클 성능이 모든 조건을 충족하고 있으며, 대량 양산이 가능한 수준에 다다랐다. 최근 ASML이 발표한 내용에 따르면, 펠리클의 수명 테스트는 400W 이상에서도 견딘 것으로 보고되고 있다. 향후 High NA 노광기가 출시되더라도 현재의 펠리클과도 완벽하게 호환 가능하며, 추가적으로 800W이상을 견디는 새로운 소재로 펠리클 개발이 진행 중이다.


EUV 블랭크 마스크가 필요한 이유


블랭크 마스크는 lithography 공정에 사용하는 포토마스크의 원판으로, 블랭크 마스크 위로 반도체 패턴을 그려서 빛을 반사 및 투과시키면 웨이퍼 위에 상이 맺힌다. 따라서 EUV 블랭크마스크는 특수한 기계적, 화학적, 광학적 기능을 가진 수 개의 레이어로 구성되어 있다. 마스크 기판은 LTEM(Low Thermal Expansion Material) 기판으로, 최소 변형률로 마스크의 강도를 유지해야 하기 때문에 낮은 CTE뿐만 아니라, 무결점의 평탄도를 요구하며, 고반사율 및 전사 정밀도를 향상시키기 위해 전면의 경우 50nm이하, 후면의 경우 500nm 이하의 정밀한 평탄도가 요구된다. 이를 충족하기 위해 LTEM 기판 위에 반사체 역할을 하는 Multi-layer(ML)가 형성된다.

ML의 반사율이 낮으면 마스크의 광학 파워 손실율이 증가하는데, EUV블랭크 마스크의 가장 큰 리스크 요인은 긴 공정 시간 동안 ML의 성능을 유지할 수 있는지 여부에 달려있다


일본 업체들의 조사에 따르면, 2021년 EUV 블랭크 마스크 글로벌 시장 규모는 전년대비 약 13% 증가한 1억 6,005만달러로 추산되고 있다. EUV 블랭크 마스크는 제조공정상 난이도가 높으며, 특정 고객사향 제품을 일본 H사가 독점하다 보니 단가 협상도 쉽지 않다


일본 A사는 2022년 1월 EUV 블랭크 마스크 생산능력을 2배 확대하기 위해 신규 생산설비 증축을 하고 있으며, 시장점유율을 2025년 50%까지 높이겠다는 목표를 세우고 있다. 삼성전자를 필두로, SK하이닉스,마이크론이 10nm급 DRAM 5세대 또는 6세대 제품으로 넘어가면서 EUV 공정을 양산 도입하겠다고 밝히고 있기 때문에, 이와 관련되어 메모리 시장에서도 적용되는 EUV 레이어 수가 늘어나면서 EUV 블랭크 마스크 비용 지출도 기하급수적으로 늘어날 것으로 전망된다.



EUV PR, 반도체 EUV 소재 공급이 성장을 견인 


EUV PR 시장 규모는 반도체 Capex 투자에 비례하지만, 한편으로는 일본 업체의 트랙 장비 개발 속도에 반비례하기도 한다. 트랙 장비는 반도체 PR을 웨이퍼에 도포하고 현상하는 설비이다. 일본 T사가 글로벌 시장 점유율 90%로, 거의 독점적으로 공급하고 있다. T사의 신규 트랙 장비가 도입되면 PR 사용량을 절반 이하로 줄일 수 있게 되며, 코팅 신뢰성과 속도 확보만 가능하다면 충분히 도입될 가능성이 높다. TSMC, 삼성전자, 인텔, SK하이닉스가 EUV 라인 투자를 늘리고 있고, DRAM 역시 EUV 적용 레이어 수를 늘리고 있기 때문에, 포토레지스트 시장의 절대적인 성장세는 지속 증가할 가능성이 높다. 시장 조사업체인 Techcet에 따르면 EUV용 PR 시장은 2020년 이후 연평균 53%씩 성장해서 2025년 14만 5,000리터까지 늘어날 것으로 예상된다


반도체는 나노 단위의 미세 회로패턴으로 이루어져 있으며, 이러한 미세 패턴을 구현하려면 어느 부분을 깎아내고 어느 부분을 남길 지에 대해 명확하게 지정해주는 공정이 필요하다. 이공정이 포토(Photo)공정이며, 동일한 패턴을 정확한 위치에 정확한 모양의 크기로 형성해야 하고 이물질의 유입이 없어야 한다. 이러한 포토 공정은 EUV 도입으로 인해 더욱 중요해지고 있다.


EUV 노광공정 중 중요한 소재 중 하나가 포토레지스트(PR)인데, 2008년부터 꾸준히 포토레지스트에 대한 성능 개선이 이루어져왔지만 여전히 난이도가 높은 분야이다. 왜냐하면 1)해상도, 감도, 패턴 균일도(LWR)를 동시에 충족시키기 어려운 기술적인 문제와 2) 포토레지스트 반응 메커니즘상 EUV의 광에너지(92.5 eV)가 레지스트 소재의 광에너지(~10 eV)보다 더 높아 제어하기 어려운 문제가 있기 때문이다


반도체 포토레지스트는 반도체 공정에서 사용되는 핵심 재료 중 하나로, 마스크를 통해 선택적으로 빛을 받은 영역만 화학 반응을 일으켜 미리 그려진 미세패턴을 실리콘웨이퍼 기판 위에 형상화 할 수 있는 화학약품이다. 이것은 여러 가지 성분이 녹아있는 용액의 형태로 되어 있는데, 공정에 적용하기 위해서는 일정한 양의 용약을 웨이퍼 위에 회전 도포(spin-coating)하여 수백나노 ~ 수마이크론 단위의 얇은 필름을 형성시킨 후 노광기로 옮겨 사용한다.


포토레지스트의 주요 구성성분은 1) 포토레지스트의 접착력과 에칭 저항력을 향상시켜 패턴을 형성하는 고분자 수지(Resin)인 Novolac, 2) 빛을 쬐면 카르복실산(가장 강한 산성 화합물)으로 분해되어 산을 발생시켜 빛에 반응하는 감광제(PAG나 PAC), 3) 포토레지스트를 액화시키는 용매인 Solvent로 구성되어 있다.


고객사별로, 어떤 업체가 어떤 레이어용으로 공급하는지에 따라 PR 가격 차이가 큰데, 삼성전자는 대부분 일본 업체로부터 PR을 받고 있으나, 메모리용 EUV PR에서 국내 동진세미켐이 3순위 공급업체로 선정되어 일부 공급 중이다. SK하이닉스는 SK머티리얼즈퍼포먼스와 EUV 협업 중이나,가시적인 매출은 아직 나오고 있지 않다. 하지만 난이도가 높은 EUV PR에서도 국내 업체들의 양산 제품이 일부 라인을 중심으로 적용이 되고 있으며 기존 일본 업체들 중심에서 벗어나 고객사 다변화가 이루어지고 있다는 점은 고무적이라고 판단한다.












EUV : 나노 공정의 핵심이 열리다
[현대차증권 곽민정] 반도체 EUV산업 - 나노공정의 핵심이 열리다. [2023.03.14]






글로벌 포토레지스트(PR) 서플라이 체인 / 반도체 소재 시장규모와 최근 동향
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AI로 인한 서버용 반도체 수요는 제한적

GPGPU(General Purpose GPU)를 보조하기 위한 HBM(High Bandwidth Memory)의 성장세가 가파를 것으로 예상되는 것은 사실이나, 해당 시장은 구조적으로 상단이 제한되어있다.


 HBM은 기존의 컴퓨팅 제품(DDR4, DDR5)를 대체하는 제품이 아니며 GPU를 보조하기 위한 메모리의 일종으로, 메인 메모리가 아닌 그래픽카드에 들어가는 GDDR에 해당되는 제품이다. 


그래픽 제품은 전체 시장 수요의 10% 수준이며, 이 중 HBM이 차지하는 비중은 10% 미만이다. 즉 현 시점에서는 전체 수요의 1~2%에 불과하다는 것이고, 구조적으로도 전체 수요의 5% 이상 수준까지 도달하기 어렵다.





AI로 인한 서버용 반도체 수요는 제한적
[대신증권 위민복] 반도체 : 겨울에 사서 돈잔치에 팔아라 [2023.03.14]
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